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    在線檢測拋光墊下方氣泡的方法

    753   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:19:37
    本發明公開一種在線檢測拋光墊下方氣泡的方法，包括：將一拋光墊粘貼在一化學機械拋光機臺的一基座上；進行一拋光墊磨合制作工藝，利用一調節盤研磨所述拋光墊，其中所述調節盤耦合一墊高度感應裝置；以及在所述拋光墊磨合制作工藝過程中，以所述墊高度感應裝置監測所述調節盤的高度變化，其中當所述調節盤的高度變化超過一預定值，將所述拋光墊從所述基座上剝離，再另粘貼一拋光墊。
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    “在線檢測拋光墊下方氣泡的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    標簽：
    化學分析
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