本發明公開一種在線檢測拋光墊下方氣泡的方法,包括:將一拋光墊粘貼在一化學機械拋光機臺的一基座上;進行一拋光墊磨合制作工藝,利用一調節盤研磨所述拋光墊,其中所述調節盤耦合一墊高度感應裝置;以及在所述拋光墊磨合制作工藝過程中,以所述墊高度感應裝置監測所述調節盤的高度變化,其中當所述調節盤的高度變化超過一預定值,將所述拋光墊從所述基座上剝離,再另粘貼一拋光墊。
聲明:
“在線檢測拋光墊下方氣泡的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)