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    柔性襯底修補結構、制造方法及檢測修補方法

    980   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:20:07
    本發明提供一種柔性襯底修補結構、制造方法及檢測修補方法。柔性襯底修補結構包括柔性襯底與至少一修補層。柔性襯底具有規則凹陷。至少一修補層位于柔性襯底上且填滿規則凹陷，其中至少一修補層的材料包括具有以下化學式(1)所示單元的聚硅氮烷化合物，其中Rx、Ry及Rz分別為氫原子或碳數為1～10的經取代的烷基、未經取代的烷基、烯基或芳香基。通過修補層的形成以避免或減少柔性襯底上的膜層產生裂紋或是斷裂等問題。
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    “柔性襯底修補結構、制造方法及檢測修補方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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