• <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置：中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    有色金屬技術

    礦山技術

    冶金技術

    材料制備及加工技術

    環境保護技術

    分析檢測技術

    > 分析檢測技術

    > 化學分析技術

    > 金屬薄膜缺陷的檢測方法

    金屬薄膜缺陷的檢測方法

    1226   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:20:08
    本發明提供一種金屬薄膜缺陷的檢測方法，先在半導體襯底上形成具有銅析出物的金屬薄膜，然后執行濕法清洗工藝以在所述金屬薄膜的表面形成與所述銅析出物對應的空洞，在執行濕法清洗工藝的過程中，濕法清洗工藝的清洗液會與金屬薄膜表面的銅析出物發生化學反應從而形成所述空洞，通過空洞可以簡單、準確及快速的得到金屬薄膜表面的銅析出物的缺陷分布。進一步的，通過掃描所述金屬薄膜以獲得所述金屬薄膜表面預定區域內的空洞的數量，可將金屬薄膜表面的銅析出物缺陷可量化，由此可以表征金屬薄膜的銅析出物缺陷的含量，從而通過銅析出物的含量評估金屬薄膜的質量。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “金屬薄膜缺陷的檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽：
    化學分析
    上一個：通氣檢測裝置
    下一個：高精度甲醛檢測儀

    與 “金屬薄膜缺陷的檢測方法” 相關技術

    ? 具有快速冷卻效果的中頻感應熔煉爐
    ? 提升鋰離子電池首效及循環壽命的負極材料及其制備方法與應用
    ? W-Re合金核殼結構材料的制備方法
    ? 寬幅7075鋁合金板材的生產工藝
    ? 鑄造鋁合金自動精煉裝置和精煉方法
    ? 可釬焊的鑄造鋁合金及其制備方法和應用
    ? 熔煉鋁的安全型熔煉爐
    ? 鎳合金帶材及其制備方法
    ? 好氧顆粒污泥減緩MBR膜污染技術
    ? 固廢填埋場滲濾液處理可滲透反應墻技術

    相關化學分析設備推薦

    硅材料電子式拉力試驗機
    超高速動態拉伸試驗機
    便攜式揮發性脂肪酸測定儀
    土壤重金屬檢測儀
    臺式精密PH計
    全國熱門有色金屬技術推薦
    江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    ?具有快速冷卻效果的中頻感應熔煉爐
    ?提升鋰離子電池首效及循環壽命的負極材料及其制備方法與應用
    ?W-Re合金核殼結構材料的制備方法
    ?寬幅7075鋁合金板材的生產工藝
    ?鑄造鋁合金自動精煉裝置和精煉方法
    ?可釬焊的鑄造鋁合金及其制備方法和應用
    ?熔煉鋁的安全型熔煉爐
    ?鎳合金帶材及其制備方法
    ?好氧顆粒污泥減緩MBR膜污染技術
    ?固廢填埋場滲濾液處理可滲透反應墻技術

    報名參會
    更多+

    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025年08月07日 ~ 09日
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    2025年08月08日 ~ 10日
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    2025年08月14日 ~ 16日
    第四屆難熔金屬及硬質合金技術研討會
    第四屆難熔金屬及硬質合金技術研討會
    2025年08月15日 ~ 17日
    2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
    2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
    2025年08月18日 ~ 20日

    報告下載

    1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
    下載:141
    2 取、制樣安全淺析
    下載:133
    3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
    下載:111
    4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
    下載:101
    5 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
    下載:99
    6 樣品變質引起采制樣和結算問題
    下載:98
    7 用于X熒光分析的樣品前處理及其
    下載:96
    8 礦產品人工取樣方案的制定及案例
    下載:95
    9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
    下載:92
    10 非常規礦產品取制樣方法的探討
    下載:91
    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    1防爆閥保護膜
    2壓力平衡機構
    3水電站的尾水預埋件
    4化工礦產有色金屬的檢測機構
    5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
    6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
    7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
    8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
    9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
    10便攜式礦山測量激光儀
    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股（集團）有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話：
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
    • <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>