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    具有內置檢測裝置的半導體制造裝置和使用該制造裝置的器件制造方法

    1125   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:20:08
    根據本發明,一種用于例如晶片之類的試樣的化學機械拋光裝置(100),包括被結合其中的內置檢驗裝置(25)。該拋光裝置(100)還包括裝載單元(21)、化學機械拋光單元(22)、清洗單元(23)、烘干單元(24)和卸載單元(26)?；瘜W機械拋光裝置(100)從前面的步驟(107)接收試樣,通過由設置在拋光裝置(100)內的所述各單元對試樣執行各過程并隨后將被加工的試樣傳送至后續步驟(109)。對在各單元之間傳送試樣而言,試樣裝載和卸載裝置和試樣傳送裝置不再必需。
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