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    BPSG中硼、磷含量測量的校正方法

    1005   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:23:22
    本發明公開一種硼磷硅玻璃(BPSG)中硼(B)、磷(P)含量測量的校正方法,以對諸如X射線熒光儀(XRF)等BPSG的B、P含量測定儀器進行校正。主要利用濕化學方法測定BPSG中的B、P含量,并與XRF測定的結果進行對比,求出差異數值,通過差異數值調節XRF的準確性,具體步驟包括:用XRF測量BPSG薄膜的硼、磷濃度;將所述BPSG薄膜溶解于蝕刻液,用元素定量分析設備測定其硼、磷濃度;以及利用XRF和元素定量分析設備分別測定的硼、磷濃度形成一用于校正所述XRF的濃度校正曲線。然后利用該濃度校正曲線來校正XRF,或者根據該濃度校正曲線制作XRF標準片來校正XRF。
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    聲明：
    “BPSG中硼、磷含量測量的校正方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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