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    拋光墊及其監測方法和監測系統

    690   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:24:15
    一種拋光墊及其監測方法和監測系統，其中拋光墊包括：底層以及位于底層表面的拋光層；位于底層表面與拋光層同層的多個標示件，用于標示拋光層的消耗，標示件的材料與拋光層的材料相同。本發明通過設置在底層表面與拋光層同層的標示件表示拋光層的消耗情況。在進行化學機械研磨的過程中，獲取標示件的標示圖形，并通過比較標示圖形與臨界圖形判斷拋光層的消耗情況。在表示拋光層已磨損的標示件的數量達到預設值時，判斷拋光墊需更換。本發明通過對標示件的監測實現了對拋光層消耗情況的監測，實現了根據拋光墊的消耗情況決定是否需要更換拋光墊，從而提高了拋光墊使用壽命判斷的準確性，進而提高了晶圓拋光的質量，提高了器件制造的良品率。
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