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    SF6的在線快速測量裝置及方法

    861   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:25:20
    本發明公開了一種對大氣環境中的SF6進行靈敏、快速在線監測的新方法及裝置。本方法利用負離子模式離子遷移譜，分別通過直接進樣和摻雜水汽的方式檢測干燥環境和不同濕度環境中的SF6。監測裝置包括：漂氣、質量流量計、空氣過濾器、摻雜劑瓶、摻雜劑、離子遷移譜系統、放大器、真空泵等。本發明通過負離子模式離子遷移譜吸氣采樣，設計摻雜劑裝置摻雜特定濃度的水汽的方式，引發化學反應，在排除大氣環境中不同濕度對測量干擾的同時，通過監測SF6的分子離子峰和與水汽反應后形成的新峰，提高離子遷移譜對SF6測量的準確性和穩定性。本發明檢測限可達0.1ppm。
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