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    測試薄膜殘余應力及其沿層深分布的方法

    1056   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:25:57
    本發明涉及一種測試薄膜殘余應力及其沿層深 分布的方法。采用光杠桿系統測量試片曲率半徑，由激光器產 生的入射光束，依次經由“半透鏡”與試片表面的透射和反射， 到達硅光電池接收器。反射光束隨拱形試片水平運動而偏轉， 試片的移動距離l與硅光電池隨光束偏轉而移動的距離D存在 線性關系，由此關系的斜率可計算試片曲率半徑。利用化學 或電化學等方法將試片上的薄膜逐層剝除，求出每次剝除前 后試片曲率半徑的當量變化量 Ri*，并將該變化量，基片彈性常數 Es、 vs和基片厚度 hs，及每次剝除薄膜的厚度 hl代入式 ，即可求得每層薄膜的殘余應力，從而得到薄膜的殘 余應力及其沿層深方向的分布。本發明中提出的光杠桿系統測 量試片曲率半徑方法，設計新穎，測量精度高。
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    化學分析
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