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    樣品臺、薄膜生長設備和原位測量系統

    1114   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:25:58
    本發明公開了樣品臺、薄膜生長設備和原位測量系統。該原位樣品臺包括導熱樣品座、配套使用的用于固定襯底的第一環形絕緣壓片、第二環形絕緣壓片和緊固件，以及兩組探針組件。探針組件中探針臂支架上部設有探針臂通道且中部設有彈性件，探針臂穿過探針臂通道且可上下移動和/或水平轉動；彈性件的一端與探針臂支架相連，彈性件的另一端與探針臂可拆卸相連；金屬導線貫穿探針臂且其一端與金屬探針相連另一端適于與電化學測試裝置相連；彈性件與探針臂相連時處于拉伸狀態，探針臂在彈性件的回彈力作用下可使金屬探針與集電極接觸。采用該樣品臺可實現薄膜生長設備和電化學測試裝置的耦合，原位精確、方便、高效地測試薄膜樣品的高溫電化學性能。
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    聲明：
    “樣品臺、薄膜生長設備和原位測量系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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