本發明涉及一種共面柵陽極碲鋅鎘探測器的制備方法,屬半導體晶體核探測器制造工藝技術領域。該探測器是由碲鋅鎘晶體及其陽極和陰極組成,該探測器的制備方法具有以下步驟:先將切割好的、晶面方向為(111)定向的、具有一定尺寸的碲鋅鎘晶片進行粗拋,細拋,表面化學腐蝕,清洗各工序的表面處理,然后制成電極:電極的制備采用真空蒸發沉積電極,利用光刻技術得到兩組共平面交叉指形的微條形陽極,陰極為完整的平面電極,兩組陽極和一個陰極均有金絲引線引出;沉積的電極為鉻金合金復合電極;最后將未沉積電極鍍層的晶片表面進行鈍化,最終制得共面柵陽極碲鋅鎘探測器。本發明方法制得的探測器具有較優的射線能量分辨率。
聲明:
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