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    基于Compact Particle Swarm Optimization算法的光刻機掩模臺微動臺的機械參數軟測量方法

    1134   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:25:59
    基于Compact?Particle?Swarm?Optimization算法的光刻機掩模臺微動臺的機械參數軟測量方法，屬于半導體制造裝備技術領域及機械參數測量領域。為了解決現有工件臺微動部分機械參數估計算法精度差的問題。所述方法包括如下步驟：步驟一：根據掩模臺微動臺的機械機構及其理論設計，建立微動臺的理想運動學模型，確定待測機械參數，建立掩模臺微動臺含差模型；步驟二：給定位置輸入，驅動微動臺運動產生位移，將實際輸出位移與通過建立的掩模臺微動臺含差模型計算出的輸出位移值做差，作為尋優的目標函數；步驟三：根據目標函數，利用Compact?Particle?Swarm?Optimization優化學習算法確定待辨識的機械參數。它用于微動臺的機械參數求取。
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