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    基于石墨烯-CMOS單片集成的探測器芯片的制備方法及系統

    893   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:27:49
    本公開提供了一種基于石墨烯?CMOS單片集成的探測器芯片的制備方法，包括：S1，在CMOS集成電路表面沉積隔離層；S2，在隔離層中刻蝕通孔，填充金屬；S3，在隔離層表面濺射金屬鎳層；S4，在金屬鎳層的表面等離子增強化學氣相淀積石墨烯；S5，腐蝕去除金屬鎳層；S6，制備電極，得到基于石墨烯?CMOS單片集成的探測器芯片。本公開還提供了一種基于石墨烯?CMOS單片集成的探測器芯片的紅外成像系統。本公開通過引入石墨烯?CMOS單片集成探測器芯片可以實現多光譜的紅外成像，有效地解決了現有紅外成像領域低成本、多光譜紅外成像的技術難點。
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    聲明：
    “基于石墨烯-CMOS單片集成的探測器芯片的制備方法及系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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