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    日盲型紫外光電探測器及其制備方法

    756   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:27:49
    本發明提供了一種日盲型紫外光電探測器及其制備方法，該日盲型紫外光電探測器，包括：導電基底，其上開設有溝道；Ga2O3納米柱陣列，其位于所述溝道上；聚甲基丙烯酸甲酯層，其覆蓋Ga2O3納米柱陣列。本發明的日盲型紫外光電探測器，Ga2O3具有高的熱穩定性和化學穩定性，其禁帶寬度約為4.9eV，只對日盲區的深紫外光敏感，相比傳統使用AlGaN、MgZnO等材料，Ga2O3不需要任何摻雜來調節帶隙，避免了合金相的成分波動和相分離；而使用的聚甲基丙烯酸甲酯層，使得日盲型紫外光電探測器具有較低的暗電流，在低光強下仍具有較高的開關比。
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