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    結構化超導帶單光子探測器

    1106   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:28:45
    本發明公開了結構化超導帶單光子探測器；本發明通過結構調控增加超導帶對光子響應靈敏度，降低了常規超導單光子探測器對超導帶寬度的要求，從而可實現高靈敏單光子探測，并具有探測面積大、速度快、制備簡單，易于擴展到大規模陣列結構等特點。該單光子探測器自下到上依次包括襯底、幾何調控超導帶、電極、光學介質層和光學反射鏡；制備方法主要包括：采用磁控濺射在襯底表面上沉積一層超導薄膜；采用光刻和剝離技術在超導薄膜上制備電極；利用電子束曝光技術和反應離子刻蝕技術在超導薄膜上制備具有結構化超導帶形狀；利用化學氣相沉積技術和電子束蒸發技術在超導帶的表面上分別沉積一層光學介質層和金屬反射層作為光學腔。
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    聲明：
    “結構化超導帶單光子探測器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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