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    具有納米異質復合結構的紫外光探測器及其制備方法

    869   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 07:28:45
    本發明公開了一種基于TiO2/ZnO納米異質復合結構的紫外光探測器結構,其最底層為基底材料,其上為叉指電極,并覆蓋一層ZnO薄膜,薄膜之上為ZnO納米棒,納米棒表面為TiO2納米結構。本發明還公開了所述紫外光探測器的制備方法:(1)在基底薄片上鍍上金屬電極形成叉指電極;(2)鍍上ZnO薄膜;(3)合成ZnO納米棒陣列;(5)在ZnO納米棒表面形成TiO2納米結構。本發明的紫外光探測器在保持ZnO紫外探測器超高光電流增益的同時引入TiO2納米結構,形成異質結能夠消除ZnO表面氧空穴陷阱態的影響,同時加快載流子分離減少復合,必然顯著提高探測器的靈敏度和光電流增益,此外TiO2的包裹將顯著提高探測器的化學穩定性。
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