• <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置：中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    有色金屬技術

    礦山技術

    冶金技術

    材料制備及加工技術

    環境保護技術

    分析檢測技術

    > 分析檢測技術

    > 化學分析技術

    > 襯底處理系統中非均勻性的原位實時感測和補償

    襯底處理系統中非均勻性的原位實時感測和補償

    830   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:28:45
    本公開的系統和方法對襯底處理系統中的各種非均勻性進行原位感測和實時補償。通過確定設置在襯底支撐件中的多個微型加熱器的矩陣上的溫度分布來感測等離子體非均勻性。替代地，通過使用矩陣加熱器和用于加熱襯底支撐件的一個或多個區域的一個或多個加熱器確定穿過襯底支撐件的熱通量來感測等離子體非均勻性。等離子體非均勻性通過調整一個或多個參數來補償，所述參數例如提供給矩陣加熱器的功率、被提供以產生等離子體的射頻功率、用于產生等離子體的一種或多種氣體的化學性質和/或流速、熱控制單元或制冷器的設置等。此外，襯底支撐件中固有的非均勻性使用區域和矩陣加熱器感測，并通過調整一個或多個參數進行補償。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “襯底處理系統中非均勻性的原位實時感測和補償” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽：
    化學分析
    上一個：農藥殘留毒性快速測試儀
    下一個：基于時間卷積網絡的電力系統短期負荷預測方法

    與 “襯底處理系統中非均勻性的原位實時感測和補償” 相關技術

    ? 廢水廢氣聯產生物油的裝置及其方法
    ? 鈦合金厚板的水切割裝置及水切割方法
    ? PVD埃米金薄膜載體及其制備方法
    ? 材料用無損檢測裝置
    ? 金屬探傷儀
    ? 金屬制品無損檢測智能設備
    ? 用于金屬的超聲波無損檢測設備
    ? 稀有金屬表面缺陷無損檢測裝置
    ? 金屬材料裂痕無損檢測設備
    ? 快速可連續測試高溫楊氏模量的裝置及方法

    相關化學分析設備推薦

    土壤緊實度測定儀
    高強螺栓扭轉系數試驗機
    橡膠管拉伸試驗機
    高低周疲勞試驗機
    空氣負氧離子檢測儀
    全國熱門有色金屬技術推薦
    江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    ?廢水廢氣聯產生物油的裝置及其方法
    ?鈦合金厚板的水切割裝置及水切割方法
    ?PVD埃米金薄膜載體及其制備方法
    ?材料用無損檢測裝置
    ?金屬探傷儀
    ?金屬制品無損檢測智能設備
    ?用于金屬的超聲波無損檢測設備
    ?稀有金屬表面缺陷無損檢測裝置
    ?金屬材料裂痕無損檢測設備
    ?快速可連續測試高溫楊氏模量的裝置及方法

    報名參會
    更多+

    第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
    第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
    2025年07月09日 ~ 11日
    第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
    第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
    2025年07月11日 ~ 13日
    2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
    2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
    2025年07月16日 ~ 18日
    2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
    2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
    2025年07月16日 ~ 18日
    第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
    第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
    2025年07月18日 ~ 20日

    報告下載

    1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
    下載:139
    2 取、制樣安全淺析
    下載:131
    3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
    下載:108
    4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
    下載:99
    5 樣品變質引起采制樣和結算問題
    下載:96
    6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
    下載:95
    7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
    下載:93
    8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
    下載:91
    9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
    下載:90
    10 非常規礦產品取制樣方法的探討
    下載:89
    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    1防爆閥保護膜
    2壓力平衡機構
    3水電站的尾水預埋件
    4化工礦產有色金屬的檢測機構
    5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
    6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
    7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
    8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
    9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
    10便攜式礦山測量激光儀
    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股（集團）有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話：
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
    • <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>