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    石墨烯場效應晶體管量子點光電探測器及其制備方法

    793   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:28:46
    本發明涉及光電探測領域，具體涉及一種石墨烯場效應晶體管量子點光電探測器及其制備方法；該光電探測器為多層薄膜結構，包括Si襯底層、第一絕緣層、第二絕緣層、石墨烯溝道層、量子點光敏介質層以及源極與漏極；襯底上依次熱氧化生長第一絕緣層氧化硅，磁控濺射法生長第二絕緣層氮化鋁作為雙絕緣層，增強型化學氣相沉積法生長石墨烯層于雙絕緣層上，石墨烯層兩端設有源極和漏極，源極和漏極之間涂覆一層量子點光敏介質層。本發明通過設計合理的器件結構，在光照情況下量子點和石墨烯之間可發生有效的電荷轉移，從而將特定頻率的光轉換成光電流，最終實現對入射光的有效探測。
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