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    Pt/Ti/SiO2/Si襯底的寬波段薄膜型光電探測器的制備方法

    1088   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:28:46
    本發明提供了一種基于Pt/Ti/SiO2/Si襯底的寬波段薄膜型光電探測器的制備方法，其中包括：襯底的清洗，薄膜的生長，電極的制備。其特征在于采用濕化學法制備Mn-Co-Ni-O薄膜，選取醋酸錳、醋酸鈷、醋酸鎳為原料，以冰醋酸作溶劑，分別配制導電類型是n和p的前驅體溶液，然后使用勻膠機和快速退火爐來制備薄膜材料。采用本方法制備的探測器可以實現紫外-可見-紅外寬波段探測。
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    “Pt/Ti/SiO2/Si襯底的寬波段薄膜型光電探測器的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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