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    金屬/石墨烯/多晶金剛石膜粒子探測器制備方法

    973   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:28:47
    本發明公開了一種金屬/石墨烯/多晶金剛石膜粒子探測器制備方法，屬于核物理技術領域，其步驟為先于Ar和H2等離子體氣氛中700?800℃溫度范圍對金屬基體進行熱處理，再關閉Ar通入CH4，調節微波功率于600?700℃的金屬基體表面生長石墨烯層，最后再調節H2、CH4比例、微波功率及銅箔溫度，在800?900℃基體溫度范圍、1.66~4.50%的甲烷濃度條件下生長0.25～0.5 mm厚的高質量多晶金剛石膜，形成基于金屬+石墨烯歐姆接觸電極的金剛石粒子探測器；上述步驟優選在同一套微波等離子體化學氣相沉積裝置中完成，在同一套裝置中通過原位連續生長構建探測器整體結構，材料不需在不同設備間轉移，本發明的方法制備效率高、步驟簡便、成本低，且能保證各層材料制備的高質量。
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