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    基于石墨烯的柔性光探測裝置及其制造方法

    766   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:28:49
    本公開涉及一種基于石墨烯的柔性光探測裝置及其制造方法。該方法包括制備單層石墨烯、制備柔性襯底上的第一金屬電極和第二金屬電極、制造n型石墨烯和p型石墨烯、制造透明柵極層的步驟。本公開實施例所提供的基于石墨烯的柔性光探測裝置及其制造方法，制造裝置的加工過程簡單。使用同一種半導體實現了裝置的制造，使得裝置的制造效率高、成本低，且克服了相關技術中的界面問題、晶格不匹配問題。所制造的裝置機械性能好，耐化學、耐酸耐堿性好，提高了裝置的耐久性、穩定性和可靠性，且具有柔性適用于柔性電子領域。
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