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    低表面漏電流臺面型光電探測器及其制作方法

    1003   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:28:49
    本發明屬于探測器芯片制造技術領域，具體為一種低表面漏電流臺面型光電探測器及其制作方法，所述方法包括在外延片的頂層沉積掩膜，通過光刻工藝開出臺面刻蝕窗口；采用濕法刻蝕將外延片刻蝕成外延臺面，進行表面化學清洗，去除濕法刻蝕反應殘留產物等；采用硫化工藝處理，鈍化外延臺面的側壁表面，降低其表面態；使用六甲基二硅胺處理側壁表面，再涂覆苯并環丁烯，形成保護層；在氮氣氣氛保護下，采用分布升溫固化；刻蝕部分保護層，使臺面的頂部裸露，根據蒸發或濺射方式在接觸層上表面淀積金屬膜，經剝離后形成P型電極；將背面減薄，在背面沉積增透膜；采用帶膠剝離制作N電極。本發明解決臺面型器件由于濕法刻蝕造成的側壁表面鈍化困難問題。
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    “低表面漏電流臺面型光電探測器及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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