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    非晶ZnSnO薄膜晶體管型紫外探測器及其制備方法

    718   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:29:10
    本發明公開了一種非晶ZnSnO薄膜晶體管型紫外探測器及其制備方法。所述的非晶ZnSnO薄膜晶體管型紫外探測器包括：低阻Si為襯底，同時為柵極；SiO2薄膜為絕緣層；非晶ZnSnO薄膜為溝道層；Al薄膜為源極和漏極。非晶ZnSnO薄膜采用溶液法制備，將Zn(NO3)2·6H2O、SnCl2·2H2O+NH4NO3分別溶解于二甲氧基乙醇溶劑中，加入乙酰丙酮、氨水溶液配成前驅體溶液，經攪拌、混合、陳化后形成溶膠，直接旋涂于襯底上，并進行退火處理，得到非晶ZnSnO薄膜。非晶ZnSnO薄膜化學式為ZnxSn1-xO，其中0< x< 1；薄膜厚度為100~200nm，可見光透過率> 80%。
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