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    平坦化工藝控制的實施方法及集成電路制造系統

    903   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:29:32
    對晶圓實施平坦化工藝。在各個實施例中，平坦化工藝可以包括化學機械拋光(CMP)工藝。收集并分析由平坦化工藝產生的副產物?；诜治?，實施用于平坦化工藝的一種或多種工藝控制。在一些實施例中，工藝控制包括(但不限于)工藝終點檢測或基于檢測與平坦化工藝相關聯的錯誤而停止平坦化工藝。本發明還提供了平坦化工藝控制的實施方法及集成電路制造系統。
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