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    用于電極的導電金剛石薄膜及其制備方法

    752   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:29:34
    一種用于電極的導電金剛石薄膜及其制備方法,主要適用電化學分析和檢測時的電極。本發明的薄膜中含有硼為0.3%至0.5%,含碳量為99.5%至99.7%。采用微波增強化學氣相沉積方法制備。制備過程中,選用硅作為基底,硅基底要經過噴砂、清洗以及置入金剛石粉與酒精混合液中用超聲波作用等處理后放入沉積室內。選用氫氣和甲烷的混合氣體為碳源的反應氣體。選用1%的硼酸三甲酯和99%的氫氣的混合氣體為摻硼氣源。向沉積室內發射頻率大于2GHz的微波,使沉積室內氣體產生等離子體?？刂粕鲜鰵庠吹牧魉俸蜕L時間,就可以獲得所要求的金剛石薄膜的含量和厚度。本發明的金剛石薄膜可直接用作電極,無需依附金屬基底,不怕腐蝕,化學、機械與導電性能均良好。
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