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    納米表面等離子體集成微流控器件生物芯片及其制造方法

    1134   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:29:45
    本發明公開了一種用于生物化學檢測的納米表面等離子體集成微流控器件生物芯片，所述芯片是通過集成納米表面等離子體傳感器和微尺度流體器件，在同一芯片上實現微尺度流體操控和表面等離子體共振分析的生物檢測芯片。本發明同時提供了所述納米表面等離子體集成微流控器件生物芯片的制造方法，該方法的核心是利用所述芯片的平滑的納米金屬薄膜納米結構，制造可用于熱壓成型的具有納米結構的模具，從而實行表面等離子體共振傳感器納米結構和微流控器件結構成型的方法。
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