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    含氧的n-型β-硅化鐵(FeSi2)及其制造方法

    767   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:31:45
    含氧的n-型beta-FeSi2納米線是經由化學氣相沉積法(Chemical？Vapor？Deposition)來合成。在650℃～950℃的溫度范圍間，經由載流氣體(carrier？gas)將前驅物FeCl3運送到硅基板處反應生成n-型β相的FeSi2，β-FeSi2的結構可以經由XRD和TEM的分析交互比對來獲得證實，且其結構的形貌也可經由SEM直接觀測。綜合以上分析，在650℃～950℃的溫度之間找到一個穩定的方法來合成n-型β-FeSi2納米線。
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    化學分析
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