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    可低溫印刷氧化物絕緣薄膜的制備方法

    1099   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:31:46
    本發明屬于薄膜器件制備技術領域，公開了一種可低溫印刷氧化物絕緣薄膜的制備方法。將氧化物前驅體材料溶解于良溶劑中，取樣進行TG/DSC測試，選取揮發溫度、致密化溫度＜200℃的墨水，然后進行粘度和張力測試，加入輔助溶劑，調節墨水粘度和張力，再通過TG/DSC測試確定退火溫度；通過紫外吸收曲線測試確定最大吸收波段；將所得墨水體系印刷成膜，在確定的退火溫度下進行熱退火處理，然后采用最大吸收波段的紫外光進行處理，得到氧化物絕緣薄膜。本發明通過一系列有效的測試分析，從物理化學的角度對前驅體、溶劑選擇以及后處理參數進行了篩選和優化，獲得可低溫印刷氧化物絕緣薄膜，對大面積柔性電子設備的發展具有推動作用。
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