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    延長C向藍寶石襯底拋光液使用壽命的方法

    760   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:31:47
    本發明涉及一種延長C向藍寶石襯底拋光液使用壽命的方法，該方法的具體過程是：1）在C向藍寶石進行化學機械拋光過程中，取C向藍寶石襯底拋光液，用Zeta電位分析儀測量電位，監測C向藍寶石襯底拋光液的Zeta電位變化情況；2）當監測到C向藍寶石襯底拋光液的Zeta電位絕對值不大于20mv時，直接向正在使用的C向藍寶石襯底拋光液中添加非離子表面活性劑，當添加至C向藍寶石襯底拋光液Zeta電位絕對值不小于30.0mv時停止添加，然后每隔0.5?1.5小時再次監測Zeta電位，重復上述過程；所述非離子表面活性劑為十二烷基硫酸鈉、異構十醇聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚中的一種或幾種混合物。該方法顯著延長了拋光液使用壽命至12小時以上，降低拋光液使用成本達30%以上。
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    “延長C向藍寶石襯底拋光液使用壽命的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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