本實用新型的濕法工藝監控裝置是利用歧管連接到濕法工藝溶液槽,使得所述濕法工藝的化學溶液流過其中以進行檢測。其包含去氣泡裝置、流體單元、微粒檢測器和化學溶液濃度檢測器。所述去氣泡裝置連接到所述歧管,用于將所述化學溶液中的氣泡去除,以去除噪聲。所述流體單元連接到所述去氣泡裝置,使得所述化學溶液流通其中。所述微粒檢測器用以檢測所述流體單元中所述化學溶液的微粒數。所述化學溶液濃度檢測器是用以檢測流體單元中所述化學溶液的濃度。
聲明:
“濕法工藝監控裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)