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    新型微加熱器及其制備方法

    983   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:31:49
    本發明具體涉及到一種新型微加熱器，其結構包括：承載玻璃片、鍍金導電涂層、加熱單元（鍍鉻涂層）、電極柱和鋁制熱沉平臺。本發明采用軟光刻微加工技術對鍍有金-鉻的玻璃片進行加工，實現一個加熱片上具備可并行工作的多個加熱單元；采用直流電源獲得焦耳熱，應用鋁制熱沉平臺進行有效散熱，以實現快速的響應和穩定的溫度控制。本發明體積微小，易于與光學系統相結合以實現實時觀測，且耗能低至毫瓦級。本發明不僅能夠實現微米尺度面積上溫度的局部控制，而且易于與微流動系統高度集成，實現在生物和化學領域高通量分析。
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    “新型微加熱器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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