本發明具體涉及到一種新型微加熱器,其結構包括:承載玻璃片、鍍金導電涂層、加熱單元(鍍鉻涂層)、電極柱和鋁制熱沉平臺。本發明采用軟光刻微加工技術對鍍有金-鉻的玻璃片進行加工,實現一個加熱片上具備可并行工作的多個加熱單元;采用直流電源獲得焦耳熱,應用鋁制熱沉平臺進行有效散熱,以實現快速的響應和穩定的溫度控制。本發明體積微小,易于與光學系統相結合以實現實時觀測,且耗能低至毫瓦級。本發明不僅能夠實現微米尺度面積上溫度的局部控制,而且易于與微流動系統高度集成,實現在生物和化學領域高通量分析。
聲明:
“新型微加熱器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)