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    熱絲CVD金剛石設備燈絲的排列方法

    912   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:31:50
    本發明提供一種熱絲CVD金剛石設備燈絲的排列方法，具體包括以下步驟：準備熱絲若干N，熱絲設置在基體的上端部，基體設置在底板的上端部，熱絲間距Tw由中間向兩邊的熱絲間距各不相同；對底板上的基體進行酸堿腐蝕處理；處理后的基體放進化學氣相沉積設備，進行金剛石涂層沉積；觀察基體四個不同位置的金剛石微觀形貌，分析金剛石純度及晶粒取向，測試金剛石涂層與基體的結合強度，以及中心基體的金剛石微觀形貌及純度。本發明提供的熱絲CVD金剛石設備燈絲的排列方法，通過改善燈絲的排列方式，使得沉積腔室內溫度分布均勻，在進行大批量的工業化生產時，所制得的CVD金剛石薄膜產品表面形貌以及內應力的分布更為均勻。
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