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    距離監控裝置

    947   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:33:28
    一種距離監控裝置，適用于化學機械研磨機，化學機械研磨機的研磨頭包括框架及薄膜，薄膜裝設于框架上，且薄膜與框架于研磨頭中形成多個氣囊。距離監控裝置包括多個距離檢測器，分別設置于氣囊所對應的框架上，將各個距離檢測器位于框架上的位置設為基準點，各個距離檢測器用以測量各個基準點與薄膜之間的距離。本發明可使經研磨后的基材具有較佳的表面平坦度。
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    聲明：
    “距離監控裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    化學分析
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