本發明公開了一種富銦磷化銦多晶料的循環利用方法,包括:第一步,對富銦InP多晶分選、切出富銦較輕和嚴重InP多晶;第二步,對富銦較輕InP多晶化學腐蝕、清洗及烘干;第三步,拉制InP多晶棒;第四步,第一電學檢測,分揀出第一電學參數合格InP多晶和不合格InP多晶;將合格InP多晶進行第五步儲存;第六步,將第一步富銦嚴重InP多晶和第四步的不合格InP多晶進行化學腐蝕、清洗以及烘干;第七步,水平合成;第八步,第二電學檢測、分揀出第二電學參數合格和不合格InP多晶,合格InP多晶進行第五步,不合格的InP多晶積攢,積攢后循環以上操作。該方法有效循環利用富銦多晶料,得到高化學配比度、高純InP多晶,避免了磷化銦單晶原料浪費,降低生產成本。
聲明:
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