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    微波發生器以及合成金剛石材料的制造

    1201   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:33:28
    一種用于在微波等離子體增強化學氣相沉積(MPECVD)系統中使用的微波發生器系統，微波發生器系統包括：微波發生器單元，被配置為以適合于經由化學氣相沉積處理制造合成金剛石材料的操作功率輸出產生微波；故障檢測系統，被配置為檢測微波發生器單元中導致操作功率輸出的減少或者頻率的改變的故障；以及重新啟動系統，被配置為響應檢測到故障而重新啟動微波發生器單元并且在微波發生器單元中導致操作功率輸出的減少或者頻率的改變的故障之后少于10秒的時間段內，恢復操作功率輸出或者頻率。
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