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    微型皮拉尼計

    1115   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:33:29
    一種微型皮拉尼計,屬于微機電系統的真空度測量器件,克服現有微型皮拉尼計體積大、靈敏度不夠高的問題。本發明在硅襯底上具有凹槽,凹槽表面架有隔熱層,隔熱層表面覆蓋絕緣層,絕緣層上濺射有加熱體,加熱體的兩端濺射有金屬電極;所述加熱體為形狀彎曲的鉑或鎳金屬;所述絕緣層材料為氮化硅或二氧化硅;所述隔熱層材料為二氧化硅、氮化硅中的一種或兩種。本發明體積小、重量輕而且性能穩定,加熱體采用金屬鉑,它的線性度好、性能穩定、靈敏度高、有良好的化學穩定性;其制造工藝簡單、成本低、成品率高、可靠性高。適用于各種大小真空封裝以及微型腔體中進行真空度實時檢測。
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    “微型皮拉尼計” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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