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    采用多層驅動膜結構的微驅動器及其制作方法

    938   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:36:06
    本發明涉及一種采用多層驅動膜結構的微驅動器及其制作方法。它包括具有驅動腔及進、出水管道結構的上體、兩個擴張管/收縮管結構的下體及具有Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Cr/Au的多層驅動膜。在Si材料正面采用濺射Ti/Pt薄膜和光刻的方法制備下電極、溶膠-凝膠工藝制備PZT壓電薄膜,利用蒸發Cr/Au薄膜和光刻的方法制備上電極,形成以Si薄膜為基底的多層驅動膜結構。微驅動器的上、下體分別采用Si刻蝕工藝制備,并利用Au-Si鍵合技術焊接,具有結構簡單、輸出流量大、驅動頻率高、功耗低、壽命長的特點,適合于批量集成制作?？蓮V泛應用于藥物微量傳送、燃料微量噴射、細胞分離、集成電路冷卻及微量化學分析等領域。
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