• <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置：中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    有色金屬技術

    礦山技術

    冶金技術

    材料制備及加工技術

    環境保護技術

    分析檢測技術

    > 分析檢測技術

    > 化學分析技術

    > 固定環及拋光頭

    固定環及拋光頭

    720   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:36:09
    本發明涉及一種固定環，用于化學機械拋光裝置中，化學機械拋光裝置包括拋光盤和拋光頭，拋光頭包括晶片載體和固定環，晶片載體用于夾持半導體晶片，拋光盤與晶片接觸并與拋光頭分別以相反的方向進行旋轉以拋光晶片，固定環包括：環形基體，設于晶片載體下方，環繞晶片側表面，用于固定晶片；至少一易斷導線，固定于環形基體表面，沿環形基體的周長方向延伸并環繞一周；通斷狀態檢測裝置，其分別與各易斷導線連接，并在任一易斷導線斷裂時發出報警信號；信號處理裝置，與通斷狀態檢測裝置輸出端連接，將報警信號轉化為拋光停止信號，用于指示拋光頭和拋光盤停止旋轉。其可有效降低因固定環破裂給工藝帶來的損失，有利于提升晶圓制備工藝效率。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “固定環及拋光頭” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽：
    化學分析
    上一個：穩定同位素標記2-異丙基硫雜蒽酮及其合成方法
    下一個：商品信息追溯方法和設備系統

    與 “固定環及拋光頭” 相關技術

    ? 高強度且抗疲勞的模具治具合金材料及其制備方法
    ? 臥式球棒式接觸疲勞試驗機的試樣固定裝置
    ? 模擬干濕交替大氣環境下金屬腐蝕疲勞的測試裝置及方法
    ? 污泥調理/板框壓濾深度脫水技術
    ? 垃圾焚燒飛灰回收重金屬酸洗-電沉積聯用技術
    ? 可自動控制的節能熔銅爐
    ? 金屬回收爐
    ? 帶銅渣處理裝置的熔銅爐
    ? 豎式熔銅爐上料小車安全防護結構
    ? 熔銅爐冷卻水流量及流量差檢測報警裝置

    相關化學分析設備推薦

    液壓金屬拉伸試驗機
    個人輻射劑量報警儀
    3D光學輪廓儀
    一體化涂（鍍）層測厚儀
    微機控制高低溫復合材料拉伸試驗機
    全國熱門有色金屬技術推薦
    江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    ?高強度且抗疲勞的模具治具合金材料及其制備方法
    ?臥式球棒式接觸疲勞試驗機的試樣固定裝置
    ?模擬干濕交替大氣環境下金屬腐蝕疲勞的測試裝置及方法
    ?污泥調理/板框壓濾深度脫水技術
    ?垃圾焚燒飛灰回收重金屬酸洗-電沉積聯用技術
    ?可自動控制的節能熔銅爐
    ?金屬回收爐
    ?帶銅渣處理裝置的熔銅爐
    ?豎式熔銅爐上料小車安全防護結構
    ?熔銅爐冷卻水流量及流量差檢測報警裝置

    報名參會
    更多+

    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025年08月07日 ~ 09日
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    2025年08月08日 ~ 10日
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    2025年08月14日 ~ 16日
    第四屆難熔金屬及硬質合金技術研討會
    第四屆難熔金屬及硬質合金技術研討會
    2025年08月15日 ~ 17日
    2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
    2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
    2025年08月18日 ~ 20日

    報告下載

    1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
    下載:141
    2 取、制樣安全淺析
    下載:133
    3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
    下載:111
    4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
    下載:101
    5 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
    下載:99
    6 樣品變質引起采制樣和結算問題
    下載:98
    7 用于X熒光分析的樣品前處理及其
    下載:96
    8 礦產品人工取樣方案的制定及案例
    下載:95
    9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
    下載:92
    10 非常規礦產品取制樣方法的探討
    下載:91
    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    1防爆閥保護膜
    2壓力平衡機構
    3水電站的尾水預埋件
    4化工礦產有色金屬的檢測機構
    5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
    6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
    7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
    8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
    9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
    10便攜式礦山測量激光儀
    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股（集團）有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話：
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
    • <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>