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    半導體結構制造設備

    935   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:36:50
    本公開實施例公開了一種半導體結構制造設備，包括：裝載腔室，包括：容置腔，用于暫存承載體；其中，所述承載體用于承載目標物；進氣孔，設置在所述裝載腔室的腔體上，用于向所述容置腔內輸送第一氣體或第二氣體；其中，所述第一氣體能與氧氣發生化學反應，所述第二氣體用于加熱所述容置腔內的目標物質以形成第三氣體，所述目標物質能與氧氣發生化學反應；第一出氣孔，設置在所述裝載腔室的腔體上，用于所述容置腔向外排出所述第一氣體或所述第三氣體；氧氣檢測裝置，通過所述裝載腔室的腔體上的第二出氣孔與所述容置腔連通，用于檢測所述容置腔的氧氣濃度；供氣箱，與所述容置腔連通，用于提供所述第一氣體或所述第二氣體。
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    “半導體結構制造設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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