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    晶圓轉速監控裝置及監控方法

    997   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:36:50
    本發明公開了一種晶圓轉速監控裝置，包括一安裝于化學機械拋光平坦化機臺的清洗槽內的激光傳感器裝置；激光傳感器裝置包括：激光發射器、激光檢測器和測量處理系統，激光發射器和激光檢測器相對設置在所述晶圓的兩側，所述激光檢測器用于接收所述激光發射器發射的激光束；所述晶圓上開設有一開口槽，晶圓在轉動中，當所述開口槽轉至與激光發射器的激光發射口處于同一水平位置時，激光發射器發射的激光束通過該開口槽被激光檢測器接收，激光檢測器根據接收的激光束生成一檢測信號并發送給測量處理系統，測量處理系統根據激光檢測器接收激光束的時間間隔，計算得到晶圓的實時轉速，本發明能夠及時準確的監控到晶圓轉速的異常情況。
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