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    剛玉-莫來石復相陶瓷涂層的制備方法

    987   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:36:51
    本發明公開了一種剛玉－莫來石復相陶瓷涂層 制備方法。采用一定的先驅體氣相系統在450℃～650℃的溫度 下通過減壓化學氣相沉積法制備出γ－Al2O3結合無定型SiO2復核氧化物涂層，然后在1250℃左右熱處理即可獲得。所用先驅體均為高純氣體，沉積爐內壓力為76乇以下，設備為通用的化學氣相沉積爐?？梢酝ㄟ^調整進入沉積爐內的氧化鋁與氧化硅的先驅體流量比例獲得不同組份的(0～100％)剛玉－(0～100％)莫來石復相陶瓷涂層。
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