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    具備功能性芯片的基板的研磨方法

    1188   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:36:51
    本發明為了在適當位置結束研磨而檢測研磨的終點位置。根據一個實施方式，提供一種具備功能性芯片的基板的化學機械研磨方法，該方法具有以下步驟：在基板配置功能性芯片的步驟；在所述基板配置終點檢測元件的步驟；由絕緣材料對配置有所述功能性芯片及所述終點檢測元件的基板進行密封的步驟；研磨所述絕緣材料的步驟；及研磨所述絕緣材料時，依據所述終點檢測元件來檢測研磨終點的步驟。
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