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    物理氣相沉積中鈦或氮化鈦顆?？仄氖褂梅椒?/h1>
    968   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:41:38

    本發明涉及一種物理氣相沉積中鈦或氮化鈦顆?？仄氖褂梅椒?，包括：步驟A：提供作為控片的晶圓片；步驟B：在所述晶圓片的表面形成氧化層；步驟C：在所述氧化層上進行物理氣象沉積，以檢測鈦或氮化鈦顆粒質量；步驟D：檢測完成后，采用鎢化學機械研磨方式去除鈦薄膜或氮化鈦薄膜及部分氧化層；其中，研磨去除的氧化層的厚度不超過生長的氧化層的厚度；步驟E：在下一次檢測中，使用研磨后的晶圓片重復步驟C和步驟D；步驟F：當經過多次檢測氧化層被完全消耗掉后，重復執行步驟B至步驟E。上述方法，控片的回收率更高，能夠使控片重復使用的次數更高，降低控片的使用成本。
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    “物理氣相沉積中鈦或氮化鈦顆?？仄氖褂梅椒ā?該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    化學分析
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