本發明公開了一種高精度微流道網絡制作方法,采用了光刻、刻蝕、電鑄、電鍍、注塑、鍵合、粘接等程序,進行了微納加工、電化學等方法的多套微流道網絡高精度模具制備,突破了高質量圖形結構和使用壽命的金屬模具制備技術難點。該發明將微納加工與高精度機械加工技術融合,集成微流控傳感芯片跨尺度制備技術,制備出具有較大深寬比、側壁陡峭、表面平整的精細的結構微流道網絡??梢詷嫿ㄟm用于多種微小樣本的高通量、微型化、高性能微流道網絡芯片,能夠適用于多種終端應用,可以廣泛應用于生物、化學、醫學分析等科研及工程領域。
聲明:
“高精度微流道網絡制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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