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    基于分子建模的鋁箔蝕刻用緩蝕劑的篩選方法

    862   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:45:50
    本發明公開了一種基于分子建模的鋁箔蝕刻用緩蝕劑的篩選方法，采用理論計算的方法，通過構建不同種類的緩蝕劑分子模型，利用量子化學程序設定隱式化溶劑模型，進行分子模型的結構優化、頻率計算和單點能計算得到量子化學計算結果文件，再通過分子動力學模擬和能量計算得到平衡吸附結構和能量結果文件，進一步地，分析計算得到不同緩蝕劑分子與鋁表面間的電子轉移分數值和結合能，根據數值結果的比較可以評估分子的緩蝕效果，從而篩選出最佳的鋁箔蝕刻用緩蝕劑，以解決鋁箔蝕刻工藝中傳統緩蝕劑篩選方法中研發效率低、工藝復雜、可靠性低的不足，而提供一種基于分子建模的普適性好、篩選效率高、成本低、安全可靠的鋁箔蝕刻用緩蝕劑的篩選方法。
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