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    電滲流泵及其泵體設計工藝流程

    1053   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:45:50
    本發明公開了一種電滲流泵及其泵體設計工藝流程，包括泵體，泵體內設有微通道，微通道內部充滿電解質溶液，通過磁控濺射在每個所述微通道內表面蒸鍍一層導電層，再在導電層上沉積一層絕緣層。泵體外部設有電源裝置，為通道壁面提供可控電勢，通過控制通道壁面的電勢大小和正負，可以方便的控制通道內部液體流動的速度、壓強和流向。本發明用來提供可控微流量液體和產生一定可控液體壓強，操作模式簡單，控制方便，系統響應速度快，可廣泛用于化學化工、微納米機電系統和生物醫療器械方面的流體驅動泵，特別適用于作芯片微通道的驅動泵，如處理器芯片的冷卻和分析化學中的物質分離與提純。
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    “電滲流泵及其泵體設計工藝流程” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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