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    MBE外延片生產方法

    1217   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:54:07
    本發明公開了一種MBE外延片生產方法，包括如下步驟：步驟S1、襯底處理、步驟S2、生長介質層、步驟S3、熱化學處理、步驟S4、生長氮化物潤濕層、步驟S5、依次生長AlGaN緩沖層、n?GaN層、InGaN/GaN MQWs量子阱層和p?GaN層、步驟S6、檢測合格后，包裝。本發明公開的MBE外延片生產方法工藝簡單，操作控制方便，耗能低，對設備依賴性小，適合工業化大規模生產；通過該生產方法制成的MBE外延片表面質量好、缺陷少，襯底易去除，電化學性能優異。
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    聲明：
    “MBE外延片生產方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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