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    包括金剛石層以及金剛石和碳化硅以及任選的硅的復合層的基板

    1118   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:54:07
    多層基板包括在復合層上CVD生長的金剛石層。該復合層包括金剛石和碳化硅與任選的硅的顆粒。該復合層中的金剛石的載荷水平(按體積計)可為≥5％、≥20％、≥40％、或≥60％。該多層基板能夠用作光學器件；用于檢測輻射粒子或電磁波的檢測器；用于切割、鉆孔、機械加工、碾磨、研磨、拋光、涂布、粘結、或釬焊的裝置；制動裝置；密封條；導熱體；電磁波導體；在升高的溫度下或在低溫條件下用于腐蝕性環境、強氧化性環境、或強還原性環境的化學惰性裝置；或用于拋光或平坦化其它器件、晶圓或膜的裝置。
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    化學分析
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