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    氧化物半導體生物傳感器、制作方法及使用方法

    1033   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:54:07
    本發明公開了一種氧化物半導體生物傳感器、制作方法及使用方法，涉及半導體器件在生物檢測中的應用技術。針對現有電解質柵薄膜晶體管型生物傳感器技術中，電場作用下電解質溶液中的離子會通過電化學作用侵蝕有源層而導致器件性能不穩定的問題提出本方案。主要在于與電解質溶液直接接觸的半導體有源層是化學穩定的單晶半導體。優點在于避免因晶界產生侵蝕導致的器件性能劣化問題，提高EGTFT傳感器件性能的穩定性，對推進半導體場效應晶體管型生物傳感器件的實際應用具有重要意義。
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