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    高比表面積的圖案化摻硼金剛石電極及其制備方法和應用

    1011   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:54:07
    本發明公開了一種高比表面積的圖案化摻硼金剛石電極及其制備方法和應用，使用光刻方法在不銹鋼薄片上刻出規則的圖案；將具有通孔圖案的不銹鋼薄片覆蓋在襯底表面，然后共同置于化學氣相沉積爐中，采用基臺限位固定；于襯底表面的暴露部份沉積生長圖案化摻硼金剛石層即得圖案化摻硼金剛石電極，化學氣相沉積過程中，控制襯底的表面溫度為750?950℃，生長氣壓為2.5?5KPa,通入的甲烷、硼烷、氫氣的比例為(1?20)：(0.3?1)：(45?49)；最后將制備的摻硼金剛石電極作為工作電極，鉑片作為對電極,Ag/AgCl電極作為參比電極組裝成檢測電極系統；該發明的制備方法相比現有技術更簡單，操作更容易控制，制作成本也更低。
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