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    MEMS紅外光源及其制備方法

    1221   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:55:14
    本發明公開了一種MEMS紅外光源及其制備方法，通過MEMS加工技術，制備出適合氣體檢測的MEMS紅外光源，包括如下步驟：1）在雙面拋光的單晶硅襯底上，利用干法氧化的方法，在兩面形成致密的氧化硅薄膜，隨后以化學氣相沉積的方式在正面生長氮化硅薄膜；2）在氮化硅薄膜上，以磁控濺射的方式生長電極連接層Ti和電極層Pt；3）以MEMS加工工藝中的光刻、刻蝕等方法，圖形化出加熱電極；4）以反應離子刻蝕的方式，去除多余的氧化硅和氮化硅；5）以干法刻蝕和濕法刻蝕相結合的方式，形成懸空結構。本發明制備的MEMS紅外光源工藝簡單，成本低，易于批量化生產，適用于便攜式、微型化的氣敏檢測系統。
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    聲明：
    “MEMS紅外光源及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    化學分析
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